Ojò Ibi ipamọ Laini PTFE fun Olùgbéejáde KOH

RANA's PTFE lining KOH Olùgbéejáde ipamọ ojò ti wa ni ila pẹlu PTFE, ti a ṣe lati pade awọn lagbara alkalinity ti KOH Olùgbéejáde ati awọn ga mimo awọn ibeere ti photolithography ilana. A ti lo Olùgbéejáde KOH fun idagbasoke awọn photoresists semikondokito ati pe o ni itara pupọ si awọn aimọ gẹgẹbi awọn ions irin ati awọn patikulu. Awọn ohun-ini inert ti PTFE ṣe idiwọ ohun elo ojò lati jade ki o jẹ ibajẹ alabọde naa. Ni afikun, ailagbara kekere rẹ ṣe idiwọ CO₂ lati titẹ ati fesi pẹlu KOH lati ṣe agbekalẹ K₂CO₃, eyiti yoo bibẹẹkọ dinku iye pH ti olupilẹṣẹ, ni idaniloju imunadoko ti olupilẹṣẹ.

Ojò ibi-itọju jẹ lilo akọkọ ni iṣelọpọ ti awọn igbimọ mojuto semikondokito ati awọn panẹli kirisita omi. Apẹrẹ rẹ ṣe ẹya ogiri inu ti ko ni abawọn ati irọrun-lati{2}} ilana mimọ, eyiti o dinku iyoku awọn ojutu to sese ndagbasoke ati rọrọpo awọn solusan oriṣiriṣi. A ṣe apẹrẹ ojò naa pẹlu ididi ati ina{4} yago fun eto lati dinku ipa ti ina ati afẹfẹ lori ojutu idagbasoke, ni idaniloju iduroṣinṣin ati pipe ilana fọtolithography. Eyi jẹ ki o jẹ ohun elo oluranlọwọ pataki ni awọn laini iṣelọpọ semikondokito.

Awọn afiwe Gbona: Ojò ibi-itọju laini PTFE fun idagbasoke koh, China PTFE ojò ipamọ laini fun awọn aṣelọpọ koh, awọn olupese, ile-iṣẹ